SUPER TECH ST系列質量流量控制器是最新一代工業微機電的產品，采用基于微機電系統（MEMS）的流量傳感器，適用于廣泛的氣體流量精密測量領域。
ST系列量程覆蓋范圍10sccm-20slpm（氮氣等效），控制范圍從1%滿量程到100%滿量程。
提供Modbus-RTU（基于RS232或RS485）數字信號或模擬信號（4-20mA或0-5V）通信接口。所需的電源電壓為15-32V。
ST系列緊湊設計只有68mm的長度和80mm的高度，高度是傳統產品尺寸的3/5，并且本產品可以在360°
任意角度下安裝使用。