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ALICAT 氣體質量流量控制器 21系列
品牌: ALICAT
量 程0.5 SCCM -10000 SLPM優于30 ms響應時間
ALICAT 低壓損氣體質量流量控制器 21W系列
量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM優于1 %的精度量程可控比寬，0.5~100 %滿量程
ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列
量 程 0～0.5 SCCM —— 0～10000 SLPM量程可控比1%-100%
ALICAT 高壓氣體質量流量控制器 21Q系列
響應式氣體流量控制，適用于高壓應用
ALICAT 帶集成截止閥氣體質量流量控制器 21V系列
量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM量程比 200：1內置98種氣體，100ms響應時間，優于1%精度
ALICAT 截止閥質量流量控制器 21VS系列
量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM量程比 100：1內置128種氣體，100ms快速響應時間，優于1%的精度
ALICAT 氣體質量流量控制器 01系列
量程100 SCCM ，1000 SCCM，20 SLPM，50 SLPM熱貼片原理，體積小巧精致，適合系統集成100ms快速響應時間，優于2%精度
ALICAT 氣體質量流量控制器 03系列
品牌: ALICAT滿量程 100 SCCM - 100 SLPM，優于 1.5%RD 精度
ALICAT CVD行業專用真空控制器 53系列
CVD行業專用真空控制器
ALICAT CVD專用氣體質量流量控制器 51系列
CVD專用氣體質量流量控制器層流差壓原理非抗腐蝕
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