SUPERTECH BT系列質量流量控制器是最新一代工業微機電的產品，采用基于微機電系統(MEMS)的流量傳感器，適用于廣泛的氣體流量精密測量領域。
BT系列量程覆蓋范圍10sccm-20slpm(氮氣等效)控制范圍從1%滿量程到100%滿量程。
提供Modbus-RTU(基于RS232或RS485)數字信號或模擬信號(4-20mA或0-5V)通信接口。所雪的電源電壓為15-32 V。
BT系列緊湊設計只有68mm的長度和80mm的高度高度是傳統產品尺寸的3/5，并且本產品可以在360任意角度下安裝使用。