產品中心
Product Center
量程0.5 SCCM - 1000 SLPM，優(yōu)于1 %的精度，量程可控比寬,優(yōu)于100 ms響應時間
美國ALICAT 21W系列低壓降質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
應用及案例
● 低溫容器檢測
● 大學/研究所
● 泄漏檢測
● 環(huán)境監(jiān)測
● 汽車制造
● 過程工藝氣體測量
產品特色
● 數(shù)字化產品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)可控：質量流量、體積流量和壓力
● 可選高精度：優(yōu)于0.6 %讀數(shù)
● 量程可控比寬，0.5~100 %滿量程
● 滿量程低壓損為480 Pa
● 閥門響應時間快，優(yōu)于150 ms
● 內置98種氣體
● 可現(xiàn)場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）
質量流量高精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）
質量流量零點漂移 ± 0.03% 滿量程 / ℃（從清零溫度開始）
± 0.01% 滿量程 / Atm（從清零壓力開始）
質量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃（從25℃開始）
± 0.1 % 讀數(shù) / Atm（從校準壓力開始）
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，用戶可現(xiàn)場編輯混合氣體 （最多5種成分），并最多存儲20種混合氣
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
量程可控比（穩(wěn)態(tài)） 0.5～100%滿量程
顯 示 屏 標準為LCD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）精度升級部分見左下角
±（0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（量程5CCM和250-500SLPM可選）
累計流量精度 流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)誤差
重 復 性 ±（0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）
質量流量溫度零點和滿量程漂移 0.03%滿量程/ ℃（從25℃開始）
質量流量壓力零點和滿量程漂移 ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準壓力開始）
控制響應時間（T63調） ＜150ms(與量程有關，用戶可調)
顯示響應時間 ＜127ms（用戶可調）
預熱時間 ＜ 1 s
工作溫度 -10 ~ 60 ℃（環(huán)境和氣體）（可選高溫選項，氣體100℃，環(huán)境85℃）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝
工作壓力 11.5-60PSIA
壓力精度 ±0.75%讀數(shù)（＞1 Atm）；
±0.1PSIA（＜1Atm）
耐 壓： 80PSIA（靜壓）；10PSID（進出口差壓）
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數(shù)字輸入/輸出信號 RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet
模擬輸入/輸出信號 0-5Vdc（默認）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA
數(shù)據刷新頻率 數(shù)字信號40 Hz@19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 12 - 30 VDC （與量程有關）
供電電流 250 mA，1 A，2 A；額外加 40 mA（ 4 - 20 mA輸出）
電氣接口 DB9M(默認)，可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 主體材質：302,303,304SS；
PCV閥門材質：430FRSS和黃銅；
R閥門材質：410SS；
密封材質FKM；
傳感器材質請咨詢工廠
過程接口 NPT內螺紋（默認），詳細規(guī)格參考壓損表；其他接口形式請咨詢
安裝方向 配置R閥門需閥體垂直向上安裝，其他閥門無要求
安裝固定孔 8-32UNC螺紋，數(shù)量和孔深與量程相關，具體請咨詢
防護等級 IP40（可選IP66）
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆 （可選）
待更新。
待更新。
滿量程低壓損氣體質量流量控制器 | 滿量程壓損（psid） 排氣到大氣中 與閥門配置有關 | 外形尺寸 | 過程接口 | 重量 |
0.5-20 sccm |
0.07 | 3.90''H x 3.34''W x 1.05''D | M5內螺紋（10-32兼容） （隨貨帶Buna-N面密封轉1/8''NPT內螺紋接頭） | 1.1lb（約0.5kg） |
50-500 sccm | 0.07 | 4.07''H x 3.59''W x 1.05''D | 1/8'' NPT 內螺紋 | 1.2lb（約0.5kg） |
1 slpm | 0.10 | |||
2 slpm | 0.18 | |||
5 slpm（配置R閥門） | 0.10 | 4.37''H x 5.41''W x 1.60''D | 1/4''NPT內螺紋 | 9.0lb（約4.1kg） |
10 slpm（配置R閥門） | 0.12 | |||
20 slpm（配置R閥門） | 0.26 | 4.37''H x 4.00''W x 1.60''D | ||
40 slpm | 0.14 | 5.50''H x 7.65''W x 2.25''D | 1/2'' NPT 內螺紋 | 9.0lb（約4.1kg） |
50 slpm | 0.17 | 5.50''H x 7.28''W x 2.25''D | 3/4'' NPT 內螺紋 | 9.0lb（約4.1kg） |
100 slpm | 0.30 | |||
250 slpm | 0.69 | |||
500 slpm | 0.69 | 5.50''H x 8.10''W x 2.90''D | 3/4'' NPT 內螺紋 | 12lb（約5.4kg） |
1000 slpm | 1.65 | 6.27''H x 9.80''W x 3.84''D | 2'' NPT 內螺紋 | 28lb（約12.7kg） |
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