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ALICAT 標準型氣體質量流量計 20系列
品牌: ALICAT
量 程 0.5 sccm — 10000 slpm測量范圍 0.01 ～ 100% 滿量程內置98種氣體，10ms快速響應時間，精度優于1%
ALICAT 氣體質量流量計-低壓損型 20W系列
量 程 0.5 SCCM —— 1000 SLPM可測范圍廣，0.01~100%滿量程滿量程超低壓損最低為480Pa
ALICAT 氣體質量流量計-抗腐蝕型 20S系列
量 程 0.5 SCCM - 10000 SLPM層流差壓原理抗腐蝕型
ALICAT 高壓氣體質量流量計 20Q系列
高壓應用實時多元流量測量
ALICAT 氣體質量流量控制器 21系列
量 程0.5 SCCM -10000 SLPM優于30 ms響應時間
ALICAT 低壓損氣體質量流量控制器 21W系列
量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM優于1 %的精度量程可控比寬，0.5~100 %滿量程
ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列
量 程 0～0.5 SCCM —— 0～10000 SLPM量程可控比1%-100%
ALICAT 高壓氣體質量流量控制器 21Q系列
響應式氣體流量控制，適用于高壓應用
ALICAT 帶集成截止閥氣體質量流量控制器 21V系列
量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM量程比 200：1內置98種氣體，100ms響應時間，優于1%精度
ALICAT 截止閥質量流量控制器 21VS系列
量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM量程比 100：1內置128種氣體，100ms快速響應時間，優于1%的精度
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