產品中心
Product Center
量程10 SCCM - 5000 SLPM,高壓應用,10 ms 快速響應
ALICAT ISMQ系列本安防爆高壓氣體質量流量計,ia區域本安防爆認證,可用于0區環境;采用內部補償型層流壓差技術,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。可縮短檢定或驗證高壓(160-320 psia)條件下運行流量所需時間,還能夠同時實時測量質量流量、體積流量、管線壓力和管線溫度。具有NIST可溯源校準證書。
應用及案例
制氫
燃料電池
制藥
石油化工
能源
碳捕集
氣相色譜/氧氣分析儀等
產品特色
ia區域本安防爆認證,可用于0區環境
內置濕度傳感器(選配)
多參數顯示和輸出:溫度、壓力、體積流量、質量流量等
IP66防護
可選高精度:優于0.5%
可現場標定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣
安防爆認證 ATEX和IECEx: Ex ia IIC T4 Ga Tamb -20 ℃ ~ 70℃
北美:Class I, Div 1, Groups A-D T4, Ex ia
Class I, Zone 0, AEx\Ex ia IIC T4 Ga
Tamb -20℃ ~ 70℃
介質要求 潔凈的非腐蝕性氣體
介質種類 內置98種氣體,用戶可現場編輯混合氣體 (最多5種成分),并最多存儲20種混合氣
量 程 從0-0.5 SCCM 到 0-1000 SLPM
測量范圍(量程比) 0.01-100%滿量程(10000:1)
質量流量普通精度 ±(0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程)
質量流量高精度 ±(0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程)(量程≥5 SCCM可選)
累計流量精度 流量精度之外增加±0.1%讀數額外誤差
重 復 性 ± (0.2%讀數+0.02 %滿量程)
質量流量零點和滿量程溫度漂移 ±0.03%滿量程/℃(從25℃開始)
質量流量零點和滿量程壓力漂移 ±(0.08% 讀數+ 0.02% 滿量程)/atm
(從校準壓力開始)
顯 示 屏 LCD單色顯示屏(帶背光)
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
傳感器響應時間 <1ms
顯示響應時間 127ms
預熱時間 < 1 s
工作溫度 -20 ~ 70 ℃(環境和氣體)
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ~ 95 %,無冷凝
內置濕度傳感器精度(可選) ±1.8%RH@23℃(0-90%RH)
濕度漂移 ±0.05%RH/℃(0 ~ 60℃)
工作壓力 11.5-60PSIA
壓力精度 ±0.75%讀數(>1atm);
±0.1PSIA(<1atm)
耐 壓 80PSIA(靜壓);
15PSID(進出口差壓)
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數字輸出信號 串口ASCII碼和Modbus RTU via RS232(默認);可選串口ASCII碼和Modbus RTU via RS485
模擬輸出信號 4-20mA
數據刷新頻率 數字信號40 Hz@19200波特率;
模擬信號:1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程誤差
供電電壓與電流 請查看說明書DOC-MANUAL-IS-SAFEINSTALLATION
電氣接口 DB15
接液材質 主體:316L SS,303SS
傳感器:氧化鋁陶瓷,金,玻璃,熱固化環氧樹脂,
熱固化硅橡膠,硅,聚酰胺
密封材質:FKM
過程接口 NPT內螺紋,詳細規格參考壓損表;;其他過程接口請咨詢
安裝方向 無要求
安裝固定孔 4×6-32UNC螺紋,孔深7.01mm
防護等級 IP66
滿量程為0.5 SCCM -1000 SLPM,
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指標升級:
質量流量普通精度 ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿量程(取最大值)
質量流量高精度 ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程(取最大值)
重復性 ±(0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程)
質量流量零點漂移 ± 0.03%滿量程/ ℃(從25℃開始)
± 0.01%滿量程/ Atm(從清零壓力開始)
質量流量滿量程漂移 ± 0.03%滿量程/ ℃(從25℃開始)
± 0.1 %讀數/ Atm(從校準壓力開始)

滿量程 | 滿量程壓損 (PSID/KPaD)
| 外形尺寸 | 過程接口 | 重量 Lb/kg |
10-50sccm | 1.0/6.9 | 7.05''H ×4.25''W ×1.50''D | M5×0.8mm內螺紋 | |
100sccm-20slpm | 1.0/6.9 | 1/8''NPT內螺紋 | 5.0/2.3 | |
50slpm | 2.0/13.8 | 7.65''H ×4.25''W ×1.50''D | 1/4''NPT內螺紋 |
6.0/2.7
|
100slpm | 2.5/17.2 | |||
250slpm | 2.1/14.5 | 1/2''NPT內螺紋 | ||
500 slpm | 4.0/27.6 | 3/4''NPT內螺紋
| ||
1000 slpm | 6.0/41.4 | |||
3000 slpm | 7.1/49.0 | 8.21''H ×5.20''W ×2.90''D | 1-1/4''NPT內螺紋 | 9.2/4.2 |
5000 slpm | 3.4/23.4 | 9.18''H ×5.60''W ×3.84''D | 1-1/2''NPT內螺紋 | 16.2/7.3 |
