產品中心
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量程10 SCCM - 2 SLPM,優于1 %的精度,100 ms 快速響應
美國ALICAT ISMCQ系列本安防爆高壓型氣體質量流量控制器,ia區域本安防爆認證,可用于0區環境直接測控,無需額外的閥門配置;采用內部補償型層流壓差技術,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。可縮短檢定或驗證高壓(160-320 psia)條件下運行流量所需時間,還能夠同時實時測量質量流量、體積流量、管線壓力和管線溫度。具有NIST可溯源校準證書。
制氫
燃料電池
制藥
石油化工
能源
碳捕集
氣相色譜/氧氣分析儀等
ia區域本安防爆認證,可用于0區環境直接測控,無需額外的閥門配置
內置濕度傳感器(選配)
多參數顯示和輸出:溫度、壓力、體積流量、質量流量,設定值,閥門驅動百分比等
IP66防護
可選高精度:優于0.5%
可現場標定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣
標配閥門自整定和累積流量批次控制功能
本安防爆認證 ATEX和IECEx: Ex ia IIC T4 Ga Tamb -20 ℃ ~ 70℃
北美:Class I, Div 1, Groups A-D T4, Ex ia
Class I, Zone 0, AEx\Ex ia IIC T4 Ga
Tamb -20℃ ~ 70℃
介質要求 潔凈的非腐蝕性氣體
介質種類 內置98種氣體,用戶可現場編輯混合氣體 (至多5種成分),
并至多存儲20種混合氣
量 程 從0-10 SCCM 到 0-2SLPM
量程可控比(穩態) 0.5-100%滿量程(200:1)
質量流量普通精度 ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程(取最大值)
累計流量精度 流量精度之外增加±0.1%讀數額外誤差
重 復 性 ±0.1 %滿量程
質量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃(從清零溫度開始)
± 0.01%滿量程/ Atm(從清零壓力開始)
質量流量滿量程漂移 ± 0.01%讀數/ ℃(從25℃開始)
± 0.1 %讀數/ Atm(從校準壓力開始)
顯 示 屏 LCD單色顯示屏(帶背光)
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度、設定值、
閥門驅動百分比
傳感器響應時間 <1ms
顯示響應時間 <10ms(與流量相關)
控制響應時間(T63) <100ms(與流量相關,用戶可調)
預熱時間 < 1 s
閥門類型 常閉
工作溫度 -20 ~ 70 ℃(環境和氣體)
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0~95 %,無冷凝
內置濕度傳感器精度(可選) ±1.8%RH@23℃(0-90%RH)
濕度漂移 ±0.05%RH/℃(0 ~ 60℃)
工作壓力 11.5-160PSIA
壓力精度 ±0.5%讀數(>1atm);
±0.07PSIA(<1atm)
耐 壓 200PSIA(靜壓);75PSID(進出口差壓)
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數字輸入/輸出信號 串口ASCII碼和Modbus RTU via RS232(默認);可選串口ASCII碼和Modbus RTU via RS485
模擬輸入/輸出信號 4-20mA
數據刷新頻率 數字信號40 Hz@19200波特率;
模擬信號:1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程誤差
供電電壓與電流 請查看說明書DOC-MANUAL-IS-SAFEINSTALLATION
電氣接口 DB15
接液材質 主體:316L SS,303SS
傳感器:氧化鋁陶瓷,金,玻璃,熱固化環氧樹脂,
熱固化硅橡膠,硅,聚酰胺
閥門材質:銅,430FR SS
密封材質:FKM
過程接口 NPT內螺紋,詳細規格參考壓損表;其他過程接口請咨詢;
安裝方向 無要求
安裝固定孔 4×6-32UNC螺紋,孔深7.01mm
防護等級 IP66
滿量程 | 滿量程壓損 (PSID/KPaD)
| 外形尺寸 | 過程接口 | 重量 Lb/kg |
10sccm | 1.5/10.3 | 7.05''H ×5.75''W ×1.50''D | M5×0.8mm內螺紋 |
5.0/2.3 |
20sccm | 2.0/13.8 | |||
50sccm | 6.0/41.4 | |||
100sccm | 20.0/137.9 | 1/8''NPT內螺紋 | ||
200sccm | 1.5/10.3 | |||
500sccm | 4.2/29.0 | |||
1slpm | 14.3/98.6 | |||
2slpm | 44.6/307.5 |

