介質種類

內置了30種氣體，用戶可現場切換

量程

從0-0.5 SCCM 到 0-20 SLPM（詳情請咨詢）

量程可控比（穩態）

 0.2～100%滿量程（500:1）

質量流量精度 

±0.8 %讀數或 ± 0.2 %滿量程，取大值

重 復 性（2σ）

±（0.15% 讀數 + 0.05% 滿量程）

質量流量溫度零點和滿量程漂移

 0.025%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質量流量壓力零點漂移

：+0.02 % 滿量程/ Atm（從清零壓力開始）

質量流量壓力滿量程漂移 

±0.2 % 讀數/ Atm（從校準壓力開始）

控制響應時間(T63)

＜50ms（與流量相關，用戶可調）

顯示響應時間 

＜10ms(與流量相關)

傳感器響應時間 

1ms

預熱時間

<1s

工作溫度

0 ～ +60 ?C（環境和氣體）

溫度精度

± 0.75℃

工作濕度

0-95%，無冷凝

工作壓力

11.5-160PSIA

壓力精度

±0.5%讀數（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）

耐壓：20

0PSIA（靜壓）；75PSID（進出口差壓）

數字輸入/輸出信號

RS232串口和Modbus RTU（默認）；可選RS485串口和Modbus RTU

模擬輸入/輸出信號

0-5Vdc（默認）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA

模擬信號精度 

在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

數據刷新頻率

數字信號40Hz@19200波特率；

模擬信號：1000Hz

供電電壓

12-24 VDC

供電電流

250mA；模擬輸出選擇4 - 20 mA則為290mA

電氣接口

DB9M

材質   

主體材質：鋁；

閥門材質：430FRSS和黃銅；

密封材質FKM；

傳感器材

質請咨詢工廠

過程接口

NPT內螺紋，詳細規格參考壓損表

安裝方向

無要求

安裝固定孔

2×8-32UNC螺紋，孔深0.328"

防護等級

IP40

LED狀態指示燈

供電，通訊和故障