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       Alicat的應(yīng)用工程師們每天都與世界各地、各個行業(yè)的人討論他們?nèi)绾问褂肁licat質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器。經(jīng)常遇到一些很有趣的應(yīng)用，比如利用Alicat質(zhì)量流量控制控制化學(xué)反應(yīng)器中的壓力，從而確保整個實(shí)驗(yàn)過程是可重復(fù)的。

       也許很多用戶還不知道Alicat質(zhì)量流量控制器其實(shí)可以設(shè)置為壓力控制模式，在測量質(zhì)量流量的同時控制壓力。Alicat質(zhì)量流量控制器可以測量體積流量，質(zhì)量流量，溫度，壓力，并可以使用Alicat質(zhì)量流量控制器控制其中任意一個參數(shù)，除了溫度。在壓力控制模式下，僅用一臺質(zhì)量流量控制器就可以同時擁有壓力控制器和質(zhì)量流量計(jì)的功能。這是一個很獨(dú)特的功能，只需要幾秒鐘的時間你就會認(rèn)識到它的價值。

       市場上大部分質(zhì)量流量控制器都沒有太多的靈活性，只允許控制質(zhì)量流量。例如在用壓力衰減法做泄漏測試的過程中，您會需要一個壓力控制器來建立壓力，關(guān)閉閥門，等待壓力衰減。接著就可以通過腔體體積、氣體類型、壓力降、時間等參數(shù)計(jì)算泄漏率，這樣的過程比較麻煩，且需要一定專業(yè)知識。如果您有一個自帶流量測量功能的壓力控制器，在壓力建立的瞬間就能讀取到泄漏流量，既節(jié)省了等待時間，又省去了計(jì)算過程的麻煩，并且不需要太多設(shè)備，節(jié)省了成本和安裝空間。

      什么是CLP壓力控制回路？

       壓力控制回路CLP是基于壓力而不是基于流量的反饋-控制回路。典型的MFC一般測量質(zhì)量流量，然后根據(jù)流量反饋值調(diào)節(jié)閥門開度，來增加/降低流量大小使之接近設(shè)定值。而Alicat質(zhì)量流量控制器不僅有流量控制回路，也有壓力控制回路。當(dāng)控制壓力的時候，閥門會根據(jù)壓力測量值調(diào)節(jié)，以控制壓力達(dá)到設(shè)定值。例如，你想用Alicat質(zhì)量流量控制器控制下游壓力為100 PSI，而當(dāng)前下游壓力是80 PSI，這時質(zhì)量流量控制器就會打開閥門直到壓力達(dá)到設(shè)定值。如果您有一個應(yīng)用既要控制壓力又要測量流量，那么，一臺Alicat質(zhì)量流量控制器就可以實(shí)現(xiàn)，也許是泄漏測試，流量測試，或質(zhì)量檢查。在質(zhì)量檢查中，你的產(chǎn)品可能需要滿足一個特定的壓力-流量曲線，以確保達(dá)到質(zhì)量合格標(biāo)準(zhǔn)。

       帶CLP模式和TOT功能的MCD

       帶CLP壓力控制模式、TOT流量累加器功能和雙閥的MCD是一個雙向質(zhì)量流量控制器，它有3個端口（進(jìn)氣端、過程控制端、排氣端），2個閥門（一個進(jìn)氣閥，一個排氣閥）。您可以用它來控制密閉容器的壓力，也就是說不僅可以通過開關(guān)進(jìn)氣閥來調(diào)節(jié)流量大小，如果容器過壓，還可以通過排氣閥排氣到大氣或真空泵來降壓，使容器壓力達(dá)到設(shè)定值。TOT流量累加器可以測量整個過程中產(chǎn)生的累計(jì)流量。有4種不同方式來確定使用MCD雙向質(zhì)量流量控制器工作過程中產(chǎn)生的累計(jì)流量。

        1.正向流量減去負(fù)向流量，得到累計(jì)流量，允許累計(jì)流量為負(fù)值。

        2.正向流量減去負(fù)向流量，得到累計(jì)流量，不允許累計(jì)流量為負(fù)值。

        3.只計(jì)算正向流量，忽略負(fù)向流量。

        4.正向流量減去負(fù)向流量，得到累計(jì)流量，累計(jì)流量達(dá)到0時重置。

        有了TOT流量累計(jì)功能，任何時候您都可以知道容器內(nèi)有多少氣體。如果您想測量進(jìn)入系統(tǒng)的氣體總量，這個功能就很有用了。

       使用Alica質(zhì)量流量控制器校準(zhǔn)轉(zhuǎn)子流量計(jì)

       轉(zhuǎn)子流量計(jì)是測量體積流量的，只有在校準(zhǔn)條件下測量的流量數(shù)值上才等于質(zhì)量流量。有時候它們使用標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量SLPM或SCCM作為流量單位，但實(shí)際上這個質(zhì)量流量讀數(shù)只有在校準(zhǔn)條件下測量才是有效的。而Alicat質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器的質(zhì)量流量讀數(shù)在任何時候都是有效的，因?yàn)樗膬?nèi)部有壓力和溫度傳感器，當(dāng)氣體壓力、溫度改變的時候，可以根據(jù)壓力和溫度的測量值實(shí)時修正質(zhì)量流量讀數(shù)。通常轉(zhuǎn)子流量計(jì)與Alicat質(zhì)量流量計(jì)是不具有可比性的，因?yàn)樗鼈儨y量的不是同一個對象，除非將轉(zhuǎn)子流量計(jì)置于它的校準(zhǔn)條件下。既然我們可以用Alicat質(zhì)量流量控制器控制壓力，為什么不用它控制轉(zhuǎn)子流量計(jì)的校準(zhǔn)壓力？

       要控制轉(zhuǎn)子流量計(jì)的下游壓力，需要將Alicat質(zhì)量流量控制器置于轉(zhuǎn)子流量計(jì)下游，并且將質(zhì)量流量控制器的閥門后置，這樣您控制的就是質(zhì)量流量控制器和轉(zhuǎn)子流量計(jì)的背壓。將壓力設(shè)定為轉(zhuǎn)子流量計(jì)的校準(zhǔn)壓力后，你就可以同時使用轉(zhuǎn)子流量計(jì)和Alicat質(zhì)量流量控制器測量質(zhì)量流量。當(dāng)然，您必須保證Alicat質(zhì)量流量控制器內(nèi)選擇的氣體類型和標(biāo)況條件和轉(zhuǎn)子流量計(jì)一樣，這些在轉(zhuǎn)子流量計(jì)上是不可調(diào)的，但在Alicat 質(zhì)量流量控制器上可隨意切換。在Alica質(zhì)量流量控制器上，您可以選擇多達(dá)130種氣體，并且自由切換標(biāo)況溫度和壓力。

       為什么選擇Alicat質(zhì)量流量控制器 

       為用戶解決特殊應(yīng)用問題，是Alicat應(yīng)用工程師們的樂趣。為了滿足用戶需求，Alicat質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器的任何參數(shù)都是可定制的。如果用戶有一個特殊應(yīng)用是我們從未遇到的，我們的解決方案可能會做一些調(diào)整，例如改變閥門的位置，或者增加一個相對濕度傳感器。現(xiàn)在我們正在研究如何處理500 SLPM二氧化硫流量控制的應(yīng)用。由于二氧化硫具有強(qiáng)腐蝕性，我們需要使用316不銹鋼本體和FFKM橡膠墊密封。

       如果您正有一個應(yīng)用可能需要定制化的解決方案，請聯(lián)系我們的應(yīng)用工程師。我們會盡力解答您的技術(shù)問題，并且嘗試給你一個可行的定制化解決方案。