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產品應用

真空鍍膜

時間: 2018-03-27 16:25:48 來源: 點擊: 5117

PVD、ALD過程中的精密氣體流量控制

真空鍍膜系統內凈化氣體和反應氣體的輸入需要快速、穩定、精確的控制。設計創新的ALICAT質量流量控制器不但在性能可靠性上優于傳統MFC,并提供可競爭的銷售價格。

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真空鍍膜應用中可靠產出的保障

?快速控制清潔氣和反應氣的流量,從而確保真空鍍膜腔體內最佳的氣體混合

?微小流量的精密控制 – 最小可控流量為0.025sccm!

?試驗室和各種測試臺的首選

?開放行業內領先的通訊協議,如:EtherNet/IP,DeviceNet等,方便各種工業應用


影響真空鍍膜最終結果的設備和因素

?壓力控制器、質量流量控制器

?快速、精密的氣氛控制,以保障最佳鍍膜效果

?簡化的系統設計,從而節省真空鍍膜設備的安裝和維護成本

?氣體可切換,以減少不必要的質量流量控制器庫存

?適用于腐蝕性氣體的不銹鋼本體